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CVD金剛石呈膜狀、尺寸較大、半透明狀，不含任何不含金屬催化劑和非金屬粘結劑，晶粒呈無序排列，無脆性解理面，呈現(xiàn)各向同性。因此金剛石薄膜高的去除率和韌性，具有自銳性，由于其薄膜的形態(tài)特性更好的應用于高精度要求的機械工，因為金剛石的高熱導率和寬光譜范圍特性可以在薄膜形態(tài)上更好應用其熱學、光學、電學等優(yōu)異性能。